Toote nimi: Alumiiniumist skandium pihustussihtmärk
Toote hüüdnimi: AlSc sihtmärk, alumiiniumskandiumisulamist sihtmärk
Värvus: hõbedane
Puhtus: 99,9% või suurem
Skandiumisisaldus: Sc 0,1%-99,9%
Density: >99.5%
Keskmine tera suurus:<500μm
Näidatud karedus:<2μm
Kuju: ruudukujuline sihtmärk, ümmargune sihtmärk, pöörlev sihtmärk (suurust saab kohandada vastavalt kliendi nõudmistele)
Köitmine: Indiumjoodisjootmine (köitmismeetodit ja tagaplaadi materjali saab kohandada vastavalt klientidele)
Tehnilised omadused: ülivaakumvalu, sihtmärkide puhastamine ja plasti töötlemine
Alumiinium-skandiumisulamist sihtmärgi valmistamismeetod:
Praegu on alumiiniumi-skandiumisulami sihtmärkide valmistamiseks kaks peamist meetodit:
1.Skandiumisisaldus alla 15%:
Alumiiniumi-skandiumisulami valmistamiseks sobib kasutada dopinguvastast meetodit, st lisada alumiiniumisulamile otse metalliskandiumi, saada valamise teel alumiinium-skandiumisulam ja seejärel valmistada alumiinium-skandiumisulami sihtmärk.
Tootmisprotsess toimub peamiselt vaakum-induktsioonsulatamise teel. Metallist skandium ja metallalumiinium pannakse tiiglisse vastavalt sulami suhtele induktsioonsulatamiseks. Tiigli materjalid valitakse sulami koostise ja omaduste põhjal. Kui sulami materjalil on kõrgemad temperatuuri-, aktiivsus- või puhtusnõuded, võib tiigli materjali vastavalt olukorrale muuta tsirkooniumoksiidi, kaltsiumoksiidi, ütriumoksiidi või vesijahutusega vasktiigli vastu. Pärast valamist allutatakse sulamist sihtembrüole vastavalt vajadusele vaakumkuumpressimine, sepistamine, kuumtöötlemine jne ning sihtembrüole tehakse embrüo kustutamise ja karastamise töötlused, nagu tihendamine, lõõmutamine, homogeniseerimine ja peenteraline töötlemine. Seejärel töödeldakse karastatud ja karastatud sihttoorikuid vastavalt kliendi nõudmistele, töödeldakse, puhastatakse ja difusioonkeevitatakse tagaplaadi külge.
2.Skandiumisisaldus üle 15%:
Sobiv on kasutada pulbermetallurgia meetodit skandiumipulbri ja alumiiniumipulbri otse segamiseks, pressimiseks ja paagutamiseks sihtmaterjalidesse. Selle meetodiga valmistatud alumiinium-skandiumisulami sihtmärk on suhteliselt ühtlane ja sellel on lai valik skandiumisisaldust. Sihtmärgil on aga probleeme, nagu kõrge hapnikusisaldus ja madal tihedus.
Meie instituudil on mitmeid alumiiniumi-skandiumisulami sihtmärkide valmistamise patente ja see suudab toota suuremahulisi, üle 12-tollise alumiiniumi-skandiumisulami sihtmärke, millel on väike koostise kõrvalekalle ja kõrge puhtusaste. Üldine tehniline tase on siseriiklikult juhtiv ja maailmatasemel. Toodet on kontrollinud kodumaised ja välismaised tarbijad.
Alumiinium-skandiumisulamist sihtmärkide rakendused:
Alumiiniumi-skandiumisulam on suure jõudlusega alumiiniumisulam. Skandiumi jälgede lisamine alumiiniumisulamile võib soodustada terade rafineerimist ja tõsta ümberkristallimistemperatuuri 250 kraadi võrra kuni 280 kraadini. See on võimas teravilja rafineerija ja võimas alumiiniumsulamite rekristalliseerimisvahend. Kristalliseerumise inhibiitoritel on märkimisväärne mõju sulami struktuurile ja omadustele ning selle tugevus, kõvadus, keevitatavus ja korrosioonikindlus paranevad oluliselt. Skandiumil on alumiiniumile hea dispersiooni tugevdav toime ja see säilitab kuumtöötlemise või lõõmutamise ajal stabiilse mitterekristalliseerunud struktuuri. Mõned neist alumiinium-skandiumisulamitest on külmvaltsitud lehed, mis on tugevasti deformeerunud ja säilitavad selle struktuuri ka pärast lõõmutamist.
Skandiumil on sulami sihtmärkidele hea legeeriv toime. Selle lisamine alumiiniumile võib tekitada hajutatud Al3Sc faasi, mis täiustab oluliselt alumiiniumisulami struktuuri, parandades seeläbi selle tugevust. Alumiinium-skandiumisulamist sihtmärk on korrosiooni- ja kiirguskindlusega. Sellel on tugeva tugevuse, väikese takistuse ja kõrge termilise stabiilsuse eelised ning see võib vastata substraadi elektroodikihtide ja suuremahuliste integraallülituste juhtmestiku materjalide katmise ja kasutamise nõuetele.
Alumiiniumi-skandiumisulami sihtmärki kasutatakse skandiumiga legeeritud alumiiniumnitriidi (ScAlN) õhukeste kilede valmistamiseks magnetroni pihustusreaktiivse sadestamise teel. Skandiumiga legeeritud alumiiniumnitriidkilel on kõrge piesoelektriline konstant, mis on umbes kümme korda kõrgem kui traditsioonilisel AlN-kilel. Skandiumialumiiniumnitriidi (ScAlN) piesoelektrilisel kilel on märkimisväärsed eelised, nagu suur helikiirus, hea termiline stabiilsus ja suur ribalaius. Eelkõige ühildub see CMOS-protsessiga ja suudab ületada alumiiniumnitriidi (AlN) piesoelektrilise kile rõhu. Väikese elektrikeha ja madala elektromehaanilise sidestusteguri puudustel on oluline rakendusväärtus akustiliste massilainete, pinnaakustiliste lainete, energia kogumise, ultrahelituvastuse ja väljatransistoride puhul. ScAlN kilede abil saab valmistada mikroelektromehaanilisi süsteeme (MEMS), 5G raadiosageduslikke (RF) filtreid, ultraheliandureid (PMUT), žesti- või sõrmejäljetuvastusseadmeid, meditsiinilisi andureid jne.
5G uue põlvkonna sideajastu tulekuga on lisaks ribalaiusele ja andmeedastuskiirusele veel üks oluline parameeter signaali terviklikkus, mis nõuab Q väärtuse parandamist. Q väärtus on seotud rakenduses kasutatava õhukese kilematerjali piesoelektriliste omadustega. Praegu kasutatavatel AlSc-sulamitel on erinev skandiumi (Sc) sisaldus. Kõrgem Sc-sisaldus võib tuua kaasa kõrgemad piesoelektrilised omadused. Mida madalam on hapnikusisaldus, seda ilmsem on piesoelektriliste omaduste paranemine. HNRE kasutab nüüd uut tehnoloogiat madala hapnikusisaldusega alumiinium-skandiumisulamist sihtmärkide tootmiseks, mille Sc-aatomisisaldus on kuni 43%.
Kuum tags: alsc sulami sihtmärk, Hiina alsc sulami sihtmärgi tootjad, tarnijad